此為研磨廢水回用項目,芯片在減薄和劃片過程中會用來超純水進行沖洗,沖洗后的水含有一些細小的懸浮物;這種廢水電導(dǎo)率低、污染物種類單一、回收價值高;本項目通過管式膜過濾,把懸浮物攔截在膜濃水側(cè),產(chǎn)水流向純水系統(tǒng)。